ARF-112-4型 <4連式拡散炉> 仕様 試料寸法：2インチ及び3インチのウェハーに対応 炉数：4本[ID70Ф×2本][ID90Ф×2本] 使用温度範囲：常温～1100℃ 昇温時間：常温～1100℃迄約60分 ヒーターゾーン：3ゾーン式110Ф×L900mm ガスの種類：酸素、窒素、水素、アルゴン 価格 ￥11,200,000円～ ※詳細な仕様については問い合わせ下さい
ARF-151-135-Ⅲ型 <複式拡散炉> 仕様 試料寸法：4インチウェハー25枚1チャージ×2系統 炉心管の寸法：ID135Ф×1400mmL×2式 使用温度範囲：常温～1000℃位 均熱帯の長さ：±5℃ 中央部 350mm ヒーターゾーン：180Ф L250×350×250mm 電源容量：AC200V 5.5Kw ガスの種類：酸素、窒素 価格 ￥9,000,000円~ ※詳細な仕様については問い合わせ下さい
ARF-13A型 <卓上小型置換炉> 仕様 試料寸法：50Ф以内 炉数：1本[内52Ф×500mm] 使用温度範囲：常温～1100℃ 最高限界温度：1150℃迄 昇温時間：常温～1100℃迄約30分 ヒーター関係：1ゾーン、カンタル線 ガスの種類:酸素、窒素、アルゴン 電源容量：AC200V 12A 価格 ￥1,800,000円～ ※詳細な仕様については問い合わせ下さい
